Direction de l'administration et des ressources
Professeur titulaire
Département de génie physique
Intérêts de recherche et affiliations
Notre groupe effectue des travaux de recherche fondamentale et appliquée portant sur des matériaux de pointe pour des applications de haute technologie, notamment en microélectronique et en optoélectronique. Notre objectif principal est de développer une solide compréhension des interactions atome/surface lors de la croissance cristalline dans des conditions fortement hors équilibre afin de contrôler la microstructure et la microchimie des couches minces à l'échelle atomique. Notre programme de recherche comprend des études complémentaires de croissance épitaxiale, de caractérisation des propriétés physiques, de fabrication de dispositifs et de modélisation. Les résultats de ces travaux servent de base au développement de nouveaux procédés de synthèse et de traitement des couches minces.
Plus particulièrement, nos sujets de recherche actuels sont :
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la croissance épitaxiale d'hétérostructures avancées d'alliages de semi-conducteurs III-V pour la microélectronique et l'optoélectronique
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la microstructure et la morphologie de surface des couches hétéroépitaxiales sous contraintes
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la synthèse de boîtes quantiques auto-assemblées InAs/InP et leur intégration dans des dispositifs optoélectroniques
- les siliciures et les barrières de diffusion pour l'industrie de la microélectronique
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la simulation de la croissance épitaxiale
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le devéloppement d'une plate-forme de test pour les dispositifs nanoélectronique et les interfaces organique/inorganique
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la caractérisation structurale de couches minces et de multicouches par diffraction de rayons x à haute-résolution, réflectivité spéculaire des rayons x et microscopie électronique en transmission
- 3303 Surfaces, interfaces et couches minces
- 3304 Semiconducteurs
Publications
Enseignement
- PHS2109 Cristallographie
- PHS3105 Cinétique
- PHS4320 Science et caractérisation des surfaces
- PHS4902 Projet intégrateur final
- PHS6314 Germination et croissance des couches minces
Encadrement à Polytechnique
TERMINÉ
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Thèse de doctorat (15)
- Allard, C. (2021). Études sur la synthèse et les propriétés optiques de nanohybrides composés de nanotubes et de colorants organiques encapsulés [Thèse de doctorat, Polytechnique Montréal].
- Daoust, P. (2021). Étude des propriétés physiques d'alliages de nitrure d'aluminium et de nitrures de terres rares [Thèse de doctorat, Polytechnique Montréal].
- Lavoie, P. (2018). Croissance et caractérisation de l'alliage GaAs1-xBix par épitaxie par jets moléculaires [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal].
- Choubak, S. (2015). The Impact of Hydrogen and Oxidizing Impurities in Chemical Vapor Deposition of Graphene on Copper [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal].
- Beausoleil, A. (2012). Étude de phénomènes cinétiques à longue portée lors de la croissance épitaxiale à l'aide de la méthode Monte Carlo cinétique [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal].
- Lambert-Milot, S. (2012). Synthèse et caractérisation structurale d'épicouches hétérogènes semi-conductrices/ferromagnétiques : le cas d'agrégats de MnP encastrés dans une matrice de GaP [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal].
- Gaudet, S. (2011). L'impact de la texture sur la réaction en phase solide du Ni avec le Si [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal].
- Lévesque, A. (2010). Auto-organisation tridimensionnelle et propriétés optiques de multicouches de boîtes quantiques d'InAs/InP [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal].
- Girard-Lauriault, P.-L. (2009). Polymérisation par plasma à pression atmosphérique : caractérisation des dépôts et leurs applications en biotechnologies [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal].
- Coia, C. (2008). Microstructure and growth kinetics of nickel silicide ultra-thin films synthesized by solid-state reactions [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal].
- Dion, C. (2008). Mécanismes fondamentaux et dynamique d'interdiffusion dans les boîtes quantiques auto-assemblées INAS/INP [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal].
- Turcotte, S. (2008). Propriétés optoélectroniques d'hétérostructures de Ga(In)AsN [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal].
- Aguirre-Carmona, C. M. (2007). Carbon nanotube networks for thin film electronic applications [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal].
- Beaudry, J.-N. (2006). Synthèse et caractérisation d'hétérostructures de (In)GaAsN pour l'optoélectronique [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal].
- Amassian, A. (2005). Ion bombardment effects in low-pressure plasmas : in situ spectroscopic ellipsometry and Monte-Carlo simulation study [Thèse de doctorat, École Polytechnique de Montréal].
- Allard, C. (2021). Études sur la synthèse et les propriétés optiques de nanohybrides composés de nanotubes et de colorants organiques encapsulés [Thèse de doctorat, Polytechnique Montréal].
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Mémoire de maîtrise (16)
- Py-Renaudie, A. (2019). Propriétés piézoélectriques des alliages d'oxyde de zinc: étude ab-initio [Mémoire de maîtrise, Polytechnique Montréal].
- Cardinal, D. D. (2018). The Impact and Elimination of Carbonaceous Impurities in Chemical Vapor Deposition Graphene on Copper [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal].
- Fournier-Lupien, J.-H. (2015). Les alliages germanium-étain et silicium-germanium-étain: croissance, propriétés structurales et stabilité thermique [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal].
- Cadieux, C. (2014). Microstructure et propriétés électriques de l'oxyde de vanadium pour les microbolomètres [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal].
- Aubin, A. (2013). Analyse de la formation des phases du système cuivre-germanium par diffraction des rayons X sur des échantillons d'épaisseur nanoscopique [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal].
- Biron, M. (2013). Croissance et transfert de graphène pour la fabrication d'électrodes transparentes [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal].
- Blondé, P. (2013). Utilisation des technologies d'impression pour le remplissage industriel des trous d'interconnexion [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal].
- Chouinard, J.-M. (2013). Nanoparticules d'alliage or-étain pour le remplissage des trous d'interconnexion [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal].
- Forest, L. (2008). Soudures sans-plomb pour la microélectronique [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal].
- Arsenault, L.-F. (2006). Une approche théorique du magnéto-transport dans les semi-conducteurs magnétiques dilués de type III-V dopés manganèse [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal].
- Tremblay, M. (2006). Caractérisation des propriétés physico-chimiques des siliciures de nickel sous forme de couches minces [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal].
- Trempe, C. (2006). Le transport dans les puits quantiques d'InGaAs/InP contraints [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal].
- Cauchon-Voyer, P. (2005). Modélisation de photodétecteurs infrarouges à boîtes quantiques [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal].
- Gaudet, S. (2005). Étude de la réaction de couches minces de métaux de transition avec le germanium pour leur application en microélectronique [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal].
- Bergeron, D. (2004). Méthode de calcul de fonctions de green d'hétérostructures à une et à zéro dimension [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal].
- Paultre, J.-E. (2003). Modélisation de la diffusion des rayons X par des nanostructures auto-organisées [Mémoire de maîtrise, École Polytechnique de Montréal].
- Py-Renaudie, A. (2019). Propriétés piézoélectriques des alliages d'oxyde de zinc: étude ab-initio [Mémoire de maîtrise, Polytechnique Montréal].