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Laboratoire de microfabrication (LMF)
Laboratoire
Tél. : (514) 340-4711 poste 7070
  Lien(s)

Description des domaines de recherche

  Laboratoire de service pour le micro-usinage en salles propres. Les installations sont accessibles à la communauté universitaire et aux industries.

Personnel de recherche

Professeurs / chercheurs (5)
Nombre d'agents de recherche : 5

Équipements spécialisés

  • Faisceau d'ions focalisés (Dual Beam strata DB-235 de FEI)
    • Dépôt et gravure localisé, caractérisation
  • Gravure profonde par ions réactifs (Plasmalab 100, ICP 180 d'Oxford Instrument)
    • Procédé Bosch et Cryo
  • Aligneurs de masques (Karl Suss MA-4 et MBJ-3)
    • Alignement arrière par infrarouge
  • Évaporation par faisceau d'électrons et pulvérisation magnétron
    • Six creusets et quatre cibles
    • Co-pulvérisation
  • Système de gravure en phase vapeur (Idonus)
  • Système de séchage super critique (Tousimis 815B série C)
  • Appareil pour le dépôt de parylène (Cookson PDS 2010 II)
  • RTA avec thermocouple et pyromètre (AG associate 410)
    • N2, N2H2, Ar et O2
    • Contrôle de température par thermocouple et par pyromètre
  • Nettoyeur à l'ozone (UVOCS)
  • Gravure par ions réactifs (Technics)
  • Microscope Nikon avec prisme Normasky
  • Dektak (Veeco dektak 3030st)
  • Mesure de contrainte (Flexus 2900 de Tencor)
  • Fournaise pour l'oxydation thermique (Thermco)
  • Microscope à balayage électronique (Philips XL-20)

Sources de financement externes

CRSNG; FQRNT et frais d'utilisation.

Nouvelle(s) concernant Laboratoire de microfabrication (LMF)

BLOGUE | 20 juillet 2021
Un « nez optique » pour diminuer les émissions GES des fermes laitières | Lire

Revue de presse concernant Laboratoire de microfabrication (LMF)

21 janvier 2022, La Terre de chez nous, Un nez optique dans les fermes laitières Des chercheurs de Polytechnique Montréal, notamment Yves-Alain Peter, professeur au Département de génie physique à Polytechnique Montréal, ont mis au point un « nez optique » qui permet de mesurer le méthane produit par un troupeau de vaches laitières pour aider les producteurs à réduire les émissions de GES. 
13 novembre 2021, Le Devoir, Le revêtement de surface, une technologie pour le futur Dans cet article de dossier, le professeur titulaire en génie physique Ludvik Martinu discute à propos des activités du Laboratoire des revêtements fonctionnels et d’ingénierie de surfaces (LaRFIS).