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Research interests and affiliations

Research interests

Design, fabrication and characterization of optical micro and nano systems. Optical MicroElectro Mechanical Systems (OMEMS) are multidisciplinary by essence. Their optical, electrostatic, mechanical design is based on analytical studies and numerical simulations. The fabrication is based on micro and nano machining of silicon, using thin film layer deposition as well as dry (plasma) and wet etching. Nanofabrication of photonic crystals coupled with mobile MEMS devices, open the path to novel tunable nanophotonic devices. Applications of MEMS and NEMS are numerous: pressure sensors, accelerometers, inkjet printer heads, projection displays, astronomical telescopes (adaptive mirrors) as well as optical telecommunication and biology.

Expertise type(s) (NSERC subjects)
  • 1901 Biomedical technology
  • 2107 Modelling, simulation and finite element methods
  • 2505 Photonic devices and networks
  • 2518 Instrumentation and measurements
  • 2523 Semiconductor fabrication and packaging
  • 3110 Optics (see also photon devices 2505)
  • 3111 Lasers
  • 3112 Photonics
  • 3303 Surfaces, interfaces and thin films

Publications

Recent publications
Conference paper
Lemieux-Leduc, C., Guertin, R., Bianki, M.-A. & Peter, Y.-A. (2018). Gas Sensing with SU-8 Whispering Gallery Mode Resonators. Paper presented at the 23rd International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics (OMN 2018), Lausanne, Switzerland. Retrieved from https://doi.org/10.1109/OMN.2018.8454653
Journal article
Leblanc-Hotte, A., Chabot-Roy, G., Odagiu, L., Richaud, M., Lesage, S., Delisle, J.-S. & Peter, Y.-A. (2018). High-throughput refractive index-based microphotonic sensor for enhanced cellular discrimination. Sensors and Actuators B: Chemical, 266, 255-262. Retrieved from https://doi.org/10.1016/j.snb.2018.03.087
Patent
Peter, Y.-A. & St-Gelais, R. (2017). Deformable interferometric sensor using a polymer between reflectors to measure analyte absorption (Patent No US 9562810). Retrieved from https://www.google.ca/patents/US9562810
Conference paper
Bernard, S., Reinhardt, C., Dumont, V., Peter, Y.-A. & Sankey, J.C. (2017). Etch-tuning and design of sin photonic crystal reflectors. Paper presented at the CLEO: Applications and Technology (CLEO_AT 2017), San Jose, CA, United states. Retrieved from https://doi.org/10.1364/CLEO_AT.2017.JTu5A.127

Teaching

Yves-Alain Peter, Dr. ès Sc., is Associate Professor in the department of Engineering Physics at École Polytechnique de Montréal since June 2004. He created the course PHS8311 Microsystems (2005). He participated to the conception of the course PHS1901 Introduction to Engineering Physics (2005) and established new laboratories for the course PHS8310 Microfabrication (2006).

Supervision at Polytechnique

IN PROGRESS

  • Ph.D. (1)

    • Leblanc-Hotte, Antoine. Microsystème optofluidique à focalisation hydrodynamique 3D pour la mesure interférométrique haute résolution et multiparamétrique de cellules individuelles d'un échantillon sanguin.
  • Master (thesis) (4)

    • Bianki, Marc-Antoine. Mémoire tampon intégrée sur puce composée de guides d'onde de résonateurs optiques couplés.
    • Guertin, Régis. Optical nose.
    • Lemieux-Leduc, Cédric. Développement d'un microrésonateur optique à mode de galerie pour la détection de gaz.
    • Richard, Simon.
  • Professionnal master (1)

    • Brodeur Faucher, Laurent.
  • Specialized graduate diploma (DESS) (1)

    • Chevalier-St-Jean, Yan.

COMPLETED

  • Ph.D. Thesis (4)

    • Ghali, H. (2016). Optical Microcavities for Real-Time Detection of Bacteria (Ph.D. Thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/2267/
    • Vanier, F. (2015). Nonlinear Optics in Chalcogenide and Tellurite Microspheres for the Generation of Mid-Infrared Frequencies (Ph.D. Thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/2021/
    • Zandi, K. (2013). Integrated Microphotonic-MEMS Inertial Sensors (Ph.D. Thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/1113
    • St-Gelais, R.l. (2012). Fundamentals and Applications of On-Chip Interferometers Based on Deep-Etched Silicon-Air Multilayer Reflectors (Ph.D. Thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/1024
  • Master's Thesis (11)

    • Jubinville, P. (2017). Détection de gaz par un senseur microfabriqué à cavité Fabry-Pérot fonctionnalisée avec des polymères (Master's Thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/2698/
    • Lemieux, K. (2017). Microfabrication de tranchées d'isolement et de trous d'interconnexion à travers le silicium (TSV) pour l'amélioration de photomultiplicateurs de silicium(SiPM) (Master's Thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/2731/
    • Bélanger, J.A. (2014). Biosenseur optofluidique pour la détection d'indice de réfraction volumique (Master's Thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/1621
    • Ramier, A. (2014). Intégration de guides d'onde et microrésonateurs à modes de galerie par assemblage à puce retournée (Master's Thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/1489
    • Amrane, T. (2012). Fabrication et caractérisation de cavités organiques à modes de galerie (Master's Thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/876
    • Poulin, A. (2012). Réseaux de Bragg verticaux accordables en silicium pour le développement de microsystèmes optiques appliqués (Master's Thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/986
    • Bergeron, S. (2010). Microcavités diélectriques circulaires et applications (Master's Thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/268
    • Gascon, A. (2010). Fabrication et caractérisation de cristaux photoniques pour exaltation de fluorescence (Master's Thesis, École Polytechnique de Montréal). Retrieved from https://publications.polymtl.ca/467
    • Koné, F.B. (2008). Microfabrication d'un cristal photonique à 1D accordable en longueur d'onde (Master's Thesis, École Polytechnique de Montréal).
    • Masson, J. (2008). Conception et fabrication d'un laser à fibre accordable par une cavité Fabry-Pérot microfabriquée en silicium (Master's Thesis, École Polytechnique de Montréal).
    • Hajj Hassan, M. (2006). Balayeur microélectromécanique dédié aux systèmes échographiques (Master's Thesis, École Polytechnique de Montréal).

News about Yves-Alain Peter

INNOVATIO | February 15, 2016
An Optical Nose for Analyzing Gas Mixtures | Read

Press review about Yves-Alain Peter

January 12, 2017, La Presse, Génie: dans l'antre de quatre laboratoires montréalais Jumeler des composantes optiques, mécaniques et électriques, le tout dans des dispositifs miniaturisés de la taille d'une puce électronique, c'est la spécialité d'Yves-Alain Peter, professeur titulaire au Département de génie physique de Polytechnique Montréal.