Microfabrication Laboratory
Laboratory
Phone: (514) 340-4711 Ext. 7070
Research areas description
Microfabrication laboratory in cleanrooms environment for academic and industrial users.
Research staff
Professors / researchers (5)
- Ludvik Martinu | Director
- Yves-Alain Peter | Scientific director
- Patrick Desjardins | Member
- Michel Meunier | Member
- Clara Santato | Member
Number of research agents: 5
Specialized equipment
- Dual focus ion beam (FEI strata DB-235)
- Patterning, local deposition and etching, device characterization
-
Deep Reactive Ion Etching (Plasmalab 100, ICP 180)
- Cryo and Bosch deep silicon etching
-
Mask aligners (Karl Suss MA-4 et MBJ-3)
- IR alignment back side alignment
- 1 µm resolution and alignment accuracy
-
E-beam and magnetron sputtering deposition chamber for metallic material
- 6 crucibles (Cr, Au, Ti, Ag, Ni, Pt, material on request)
- 4 sputtering targets (NiCr, Pd, Co, Cu, material on request)
- Co-sputtering
- Magnetron sputtering system for ceramics and complex materials
- Vapor HF etcher (Idonus)
- Critical point dryer (Tousimis 815B C series)
-
Rapid Thermal Annealing (AG associate 410)
- N2, N2H2, Ar and O2 gases
- Thermocouple and pyrometer temperature control
- Parylene coater (Cookson PDS 2010 II)
- Ozone cleaner (UVOCS)
- Reactive ion etching (Technics)
- Wet etching capabilities
- TMAH anisotropic etching
- Nikon microscope with Normasky prism
- Dektak (Veeco dektak 3st)
- Scanning Electron Microscopes (Philips XL-20)
- Thermal oxidation furnace (Thermco)
External sources of funding
NSERC; FQRNT and Fee Users.
News about Microfabrication Laboratory
Press review about Microfabrication Laboratory

January 21, 2022,
La Terre de chez nous,
Un nez optique dans les fermes laitières
Des chercheurs de Polytechnique Montréal, notamment Yves-Alain Peter, professeur au Département de génie physique à Polytechnique Montréal, ont mis au point un « nez optique » qui permet de mesurer le méthane produit par un troupeau de vaches laitières pour aider les producteurs à réduire les émissions de GES.

November 13, 2021,
Le Devoir,
Le revêtement de surface, une technologie pour le futur
Dans cet article de dossier, le professeur titulaire en génie physique Ludvik Martinu discute à propos des activités du Laboratoire des revêtements fonctionnels et d’ingénierie de surfaces (LaRFIS).