Modèle : JEOL JSM-7600F
Description
Microscope électronique à balayage servant pour l’observation et analyse d’un grand nombre de type d’échantillon (matériaux métalliques, composites, polymères, nanoparticules, composantes de microélectronique, matériaux organiques ou biologiques etc.). Il est équipé d’un canon à effet de champ (FEG) et possède une résolution maximale de 1 nm à 15 kV.
Périphériques
- Spectromètre rayons X à dispersion des énergies (EDS) Tmax d’Oxford Instruments
- Spectromètre rayons X à dispersion des longueurs d’onde (WDS) WAVE d’Oxford Instruments Détecteur STEM HAADF (High Angle Annular Dark Field) de Gatan
- Nettoyeur plasma IBSS
Spécificités
- Résolution de 1.0 nm à 15 kV.
- Résolution de 1.4 nm à 1 kV.
- Tension d'accélération de 0.1 kV à 30 kV.
- Canon électronique à effet de champ (FEG) pouvant atteindre de très hauts courants (>200 nA)
- Possibilité d'appliquer une tension à l'échantillon afin de réduire l'énergie des électrons incidents (mode "Gentle Beam").
- Détecteur d'électrons secondaire pouvant filtrer l'énergie des électrons collectés.
- Détecteur conventionnel d'électrons rétrodiffusés et détecteur d'électrons rétrodiffusés à faible angle (LABE : Low Angle Backscattered Electrons).
- Limite de détection EDS ≈ 0.1% poids.
- Limite de détection WDS ≈ 0.01% poids.
- Détecteur d’électrons transmis (STEM) permettant l’observation d’échantillons minces. Possibilité d’effectuer des observation HAADF (High Angle Annular Dark Field) au MEB.
- Nettoyeur plasma pour réduire la contamination de surface des échantillons.
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Modèle : JEOL JSM-IT800
Description
Microscope électronique à balayage très polyvalent pouvant observer des échantillons conducteurs ou non-conducteurs grâce à son mode en pression variable. De plus, les performances à faible tension d’accélération de ce microscope sont remarquables (résolution de 0.7 nm à 1 kV et 0.9 nm à 0.5 kV). Il est équipé d’un canon à effet de champ (FEG) et possède une résolution maximale de 0.5 nm à 15 kV. Il est bien adapté pour la microanalyse avec un courant maximal de plus de 500 nA.
Périphériques
- Spectromètre rayons X à dispersion des énergies (EDS) dernière génération d’Oxford Instruments
- Caméra pour la diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD) Symmetry d’Oxford Instruments
- Platine chauffante pouvant faire des essais thermo-mécaniques traction in situ jusqu’à 1000oC
Spécificités
- Résolution de 0.5 nm à 15 kV.
- Résolution de 0.7 nm à 1 kV.
- Tension d'accélération de 0.01 kV à 30 kV.
- Canon électronique à effet de champ (FEG) pouvant atteindre de très hauts courants (>500 nA) pour l’analyse chimique.
- Mode en pression variable (jusqu’à 300 Pa d’azote) pour l’observation d’échantillons non-conducteurs.
- Possibilité d'appliquer une tension à l'échantillon afin de réduire l'énergie des électrons incidents (jusqu’à seulement 0.01 keV).
- Détecteur d'électrons secondaire pouvant filtrer l'énergie des électrons collectés.
- Détecteur d'électrons rétrodiffusés à 4 segments pour la reconstruction 3D des images.
- Filtre fonctionnant à l’intelligence artificiel pour la discrimination du signal et du bruit dans les images.
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Modèle : Thermo Fischer Scientific Quattro S
Description
Microscope électronique à balayage aux caractéristiques uniques possédant un mode à haut vide (≈ 10-4 Pa), un mode pression variable (VPSEM, jusqu’à 400 Pa) et un mode environnemental (ESEM, jusqu’à 4000 Pa). Ce microscope peut observer tous les types d’échantillons. Il est équipé d’un canon à effet de champ (FEG) et possède une résolution maximale de 1.0 nm à 30 kV.
Périphériques
- Spectromètre rayons X à dispersion des énergies (EDS) Tmax d’Oxford Instruments
- Platine chauffante permet l’observation d’échantillons à haute température (jusqu’à 1100°C)
- Platine chauffante et refroidissante permet le cyclage des batteries dans le MEB à différentes températures
Spécificités
- Résolution de 1.0 nm à 30 kV.
- Résolution de 3.0 nm à 1 kV.
- Tension d'accélération de 0.1 kV à 30 kV.
- Mode en pression variable (jusqu’à 400 Pa de vapeur d’eau ou d’azote).
- Mode environnemental (jusqu’à 2600 Pa de vapeur d’eau ou 4000 Pa d’azote).
- Possibilité d'appliquer une tension à l'échantillon afin de réduire l'énergie des électrons incidents.
- Détecteur d'électrons secondaire pouvant filtrer l'énergie des électrons collectés.
- Logiciel AutoScript pour l’automatisation de l’opération du MEB.
- Logiciel Maps pour l’acquisition de mosaïques.
- Système de déposition de platine et carbone par faisceau d’électrons (GIS).
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Modèle : JEOL JEM-F200, MET-CFEG
Description
Microscope électronique en transmission (MET) ultra performant équipé d’une cathode froide à effet de champ (C-FEG) qui présente une résolution spatiale et des performances analytiques élevées et un nouveau système d’exploitation facile à utiliser pour un fonctionnement polyvalent. Permet la caractérisation complète des matériaux : nano/microstructure, structure cristalline, composition chimique, etc.
Périphériques
- Deux spectromètre rayons X à dispersion des énergies (EDS) SSD.
- Spectromètre de perte d’énergie électronique (EELS) pour l’analyse chimique qualitative et quantitative.
Spécificités
- Grande plage de grossissement : 50X à 150 000 000X.
- Canon à émission de champ froid (CFEG) : source d’électrons stable de 20 à 200 kV. permettant une plus grande densité de courant dans une sonde plus petite, une meilleure résolution en énergie pour EELS.
- Optique électronique de dernière génération permettant l’imagerie à l’échelle atomique.
- Résolution atomique (TEM – 2.3 Å et STEM 1.6 Å).
- Mode STEM en champs clairs (BF et ABF) et sombres ainsi qu’en imagerie par contraste Z (HAADF).
- Imagerie filtrée par l’énergie avec le filtrage d’image Gatan (GIF).
- Divers porte-échantillons (p. ex. double inclinaison, cryo-MET).
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Modèle : Hitachi FB-2000A
Description
Microscope à faisceau ionique focalisé au gallium permettant la préparation rapide et précise de lames minces pour le microscope électronique en transmission. Il est équipé d'un système permettant la déposition de tungstène et d'un micromanipulateur pour l'extraction et le déplacement de la lame mince.
Spécificités
- Préparation d’échantillons minces pour observation au MET.
- Equipé d’un faisceau d’ions gallium de 30 keV (Ga+).
- Le dépôt de tungstène in situ est utilisé pour protéger la région d’intérêt.
- Équipé d’un micro-manipulateur pour placer l’échantillon sur un porte-échantillon MET standard.
- Le système peut également être utilisé pour préparer des sections transversales. d’échantillons pour les observations MEB.
- Il est possible d’usiner une grande variété de géométries sur presque tous les matériaux.
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Modèle : Thermo Fischer Scientific Helios 5 UX
Description
Microscope électronique à balayage à deux colonnes avec un faisceau ionique focalisé au gallium permettant la préparation de lames minces ultra-minces pour des observations au MET et MEB.
Spécificités
- Colonne électronique MEB-FEG à très haute résolution (0.6 nm à 15 kV).
- Préparation d’échantillons MET de haute qualité (i.e. ultra-mince, peu endommagés grâce à un polissage à faible énergie ionique).
- Préparation rapide d’échantillons pour observations STEM, MET et APT.
- Système de déposition de tungstène, platine et carbone par faisceau d’électrons ou d’ions (MultiChem).
- Équipé d’un micro-manipulateur pour placer l’échantillon sur un porte-échantillon MET standard.
- Méthodes de préparation entièrement automatisées.
- Préparation d’échantillons pour essais micromécanique : essais de contrainte résiduelle HRDIC et micro-usinage de diverses géométries.
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Modèle : Thermo Fischer Scientific Helios 5 Hydra CX
Description
Microscope électronique à balayage à deux colonnes avec un faisceau ionique plasma focalisé permettant entre autres d’effectuer des cartographies de la micro/nanostructure, de la composition chimique et de la cristallographie en 3D, la préparation de lames minces conventionnelles ou de grande taille pour le MET sans l’utilisation de gallium (e.g. alliages d’aluminium) et l’ablation de matière optimisée grâce aux faisceaux ioniques de natures différentes.
Périphériques
- Spectromètre rayons X à dispersion des énergies (EDS) dernière génération d’Oxford Instruments
- Caméra pour la diffraction des électrons rétrodiffusés (EBSD) Symmetry d’Oxford Instruments
Spécificités
- Colonne électronique MEB-FEG à très haute résolution (0.6 nm à 15 kV).
- Préparation d’échantillons STEM, TEM et APT sans Ga+.
- Quatre espèces d’ions à choisir pour obtenir les meilleurs résultats spécifiques au matériau (Xe, Ar, O et N), ce qui rend le système extrêmement polyvalent.
- Micro-usinage de grandes surfaces/volumes (colonne ionique à courant élevé).
- Différents détecteurs (SE, BSE, LABE, STEM/HAADF) pour une large gamme de contrastes d’imagerie et de types d’échantillons.
- Reconstruction multimodale 3D automatisée par coupe en série (microstructure, cristallographie et chimie).
- Système de déposition de tungstène, platine et carbone par faisceau d’électrons et d’ions (MultiChem).
- Équipé d’un micro-manipulateur pour placer l’échantillon sur un porte-échantillon MET standard.
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Modèle: Bruker D8 Advance
Description
Diffractomètre à rayons X permettant l’identification et la quantification de phases, la mesure de contraintes résiduelles, la mesure de textures cristallographiques et des mesures à angle rasant. Presque toutes ces techniques peuvent être réalisées en fonction de la température et du temps à l’intérieur du DHS-1100.
Périphériques
- Platine chauffante DHS-1100 allant jusqu’à 1100oC
Spécificités
- Faisceau rectangulaire (2.5 cm de large et moins) ou circulaire (diamètre de 1.0, 0.5 ou 0.3 mm en µXRD).
- Détecteur à pixels permettant des mesures dans différents modes (0D, 1D ou 2D). Permet la mesure de contraintes résiduelles et de textures cristallographiques jusqu’à 100X plus rapidement que les détecteurs 0D typiques.
- Le périphérique DHS-1100 permet la réalisation de mesures dans un environnement contrôlé (sous vide, à l’air, azote) et à haute température (jusqu’à 1100 °C).
- Sources de Cu et de Cr disponibles.
- Muni d’un berceau Euler offrant la possibilité de faire des mesures en mode «iso-inclinaison» ou en mode «side-inclinaison».
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Modèle : NU Instruments Astrum ES
Types de mesures
Technique ultra-sensible permettant de mesurer la composition chimique (éléments principaux et impuretés) des matériaux en combinant un spectromètre de masse à haute résolution (analyseur de masse à champ sectoriel) à une source de pulvérisation et d’ionisation par décharge luminescente. Grâce à sa haute sensibilité, le GDMS est le moyen mondialement accepté pour mesurer de très petites traces d’impuretés dans des matériaux ultra-purs dont la pureté peut atteindre jusqu’à 7N (99.99999%) comme ceux utilisés dans ces applications de pointe comme en microélectronique.
Périphériques
- Refroidissement à l’azote liquide
Spécificités
- Détermination de la composition élémentaire avec une très grande sensibilité.
- Source de décharge à courant continu avec refroidissement cryogénique.
- Plasma d’argon ou de krypton.
- Analyseur magnétique de masse haute résolution à champ sectoriel.
- N’importe quel isotope peut être mesuré.
- Deux détecteurs de Faraday/multiplicateur d’électrons pour une grande plage dynamique de mesure.
- Détermination des éléments de la matrice et des éléments de traces inférieurs sous les parties par milliard en un seul balayage.
- Résolution spectrale maximale supérieure à 10 000.
Contact
- Binoculaires et microscopes optiques avec logiciel d’acquisition d’images
Pour les observations à faible grossissement
- Microduromètre (Clemex)
Permet de mesurer la dureté locale de différents matériaux à une échelle micrométrique.
- Granulomètre laser (Coulter Counter)
Détermination de la distribution de taille de particules mesurant de 0.4 µm à 2000 µm.
- Essais mécaniques statiques (ZwickRoell KappaDS100)
Essais en traction/compression/fluage à haute température (jusqu’à 1200oC) grâce à un four et un extensomètre à double laser vert (sans contact).
- Essais mécaniques universels (Instrom 8502)
- Métalliseurs d'échantillon
- Polisseuses automatiques et manuelles
- Enrobeuses
- Coupes d’échantillons (scies de précision, scie à ruban vertical et tronçonneuse)
- Préparation d’échantillon MET (poinçon, amincisseur, électro polissage)
- Fours variés
- Broyeurs, mélangeurs et tamiseurs à poudre
