Microdispositifs pour satellites miniatures, détecteurs pouvant déceler des gaz dangereux pour la santé, capteurs qui effectuent des analyses médicales; l'industrie des microsystèmes et des matériaux de pointe est florissante. Michel Meunier, professeur au Département de génie physique et titulaire de la Chaire de recherche du Canada en micro/nanoingénierie des matériaux par laser, répond aux besoins de l'industrie en effectuant des recherches dans ce domaine.

En juillet 2000, la Fondation canadienne pour l'innovation accordait un fonds d'innovation de 4 millions au projet dirigé par le professeur Meunier : le Consortium québécois de micro/nanoingénierie des matériaux et des systèmes. L'infrastructure acquise dépasse les 10 millions et permettra de hausser considérablement le niveau des activités de recherche des cinq institutions membres du consortium soit l'École Polytechnique, l'Université de Montréal, l'Université Concordia, l'Université de Sherbrooke et l'Université Laval.

Le soutien de la Fondation a permis à l'École Polytechnique d'agrandir ses salles blanches et d'acheter plusieurs types de systèmes d'analyse des nanomatériaux, des microscopes, un système de gravure ultra-fin, un système de dépôts d'épitaxie par jets moléculaires, un système de micro-usinage par laser femtoseconde et un système de faisceau d'ions focalisés. Ces équipements ont été choisis en fonction des trois axes principaux de la recherche : la nanoscience et la physique des surfaces, la micro/nanofabrication ainsi que le design et l'intégration des microsystèmes. Les nouveaux appareils permettront de réaliser des dépôts de couches minces et des traitements de matériaux impossibles à effectuer avec les anciens équipements. L'infrastructure offre aussi aux chercheurs l'occasion de repousser les limites des technologies actuelles de micro/nanofabrication en optimisant les procédés. En couplant ces nouveaux équipements avec ceux existants, les laboratoires du consortium feront partie des meilleurs laboratoires de recherche et développement en matériaux avancés dans le monde.

Page Web du professeur Michel Meunier :
http://www.polymtl.ca/recherche/rc/prof.php?NoProf=145