Répertoire des expertises

Laboratoire de microfabrication (LMF)

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Coordonnées

Professeurs / Chercheurs

Descriptif de la recherche

  Laboratoire de service pour le micro-usinage en salles propres. Les installations sont accessibles à la communauté universitaire et aux industries.

Personnel de recherche

  • Professeurs / chercheurs : 5
  • Associés de recherche et techniciens : 5

Équipements spécialisés

  • Faisceau d'ions focalisés (Dual Beam strata DB-235 de FEI)
Dépôt et gravure localisé, caractérisation
  • Gravure profonde par ions réactifs (Plasmalab 100, ICP 180 d'Oxford Instrument)
Procédé Bosch et Cryo
  • Aligneurs de masques (Karl Suss MA-4 et MBJ-3)
Alignement arrière par infrarouge
  • Évaporation par faisceau d'électrons et pulvérisation magnétron
Six creusets et quatre cibles
Co-pulvérisation
  • Système de gravure en phase vapeur (Idonus)
  • Système de séchage super critique (Tousimis 815B série C)
  • Appareil pour le dépôt de parylène (Cookson PDS 2010 II)
  • RTA avec thermocouple et pyromètre (AG associate 410)
N2, N2H2, Ar and O2
Contrôle de température par thermocouple et par pyromètre
  • Nettoyeur à l'ozone (UVOCS)
  • Gravure par ions réactifs (Technics)
  • Microscope Nikon avec prisme Normasky
  • Dektak (Veeco dektak 3030st)
  • Mesure de contrainte (Flexus 2900 de Tencor)
  • Fournaise pour l'oxydation thermique (Thermco)
  • Microscope à balayage électronique (Philips XL-20)

Sources de financement externe

CRSNG; FQRNT et frais d'utilisation.

 

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