Laboratoire de microfabrication (LMF)

Affilié à

• Département de génie physique

Coordonnées

• Téléphone : (514) 340-4711 # 7459
• Télécopieur : (514) 340-3218
• Courriel : olivier.grenier@polymtl.ca
• Site Web : http://www.gcmlab.ca/

Professeurs / Chercheurs

• Arthur Yelon, Responsable
• Yves-Alain Peter, Co-responsable
• Olivier T. Guenat, membre

Descriptif de la recherche

Laboratoire de service pour le micro-usinage en salles propres. Les installations sont accessibles à la communauté universitaire et aux industries.

Personnel de recherche

• Professeurs / chercheurs : 3
• Associés de recherche et techniciens : 5

Équipements spécialisés

• Faisceau d'ions focalisés (Dual Beam strata DB-235 de FEI)

Dépôt et gravure localisé, caractérisation

• Gravure profonde par ions réactifs (Plasmalab 100, ICP 180 d'Oxford Instrument)

Procédé Bosch et Cryo

• Aligneurs de masques (Karl Suss MA-4 et MBJ-3)

Alignement arrière par infrarouge

• Évaporation par faisceau d'électrons et pulvérisation magnétron

Six creusets et quatre cibles

Co-pulvérisation

• Système de gravure en phase vapeur (Idonus)
• Système de séchage super critique (Tousimis 815B série C)
• Appareil pour le dépôt de parylène (Cookson PDS 2010 II)
• RTA avec thermocouple et pyromètre (AG associate 410)

N₂, N₂H₂, Ar and O₂

Contrôle de température par thermocouple et par pyromètre

• Nettoyeur à l'ozone (UVOCS)
• Gravure par ions réactifs (Technics)
• Microscope Nikon avec prisme Normasky
• Dektak (Veeco dektak 3030st)
• Mesure de contrainte (Flexus 2900 de Tencor)
• Fournaise pour l'oxydation thermique (Thermco)
• Microscope à balayage électronique (Philips XL-20)

Sources de financement externe

NanoQuébec; CRSNG; FQRNT et frais d'utilisation.