Détails et horaire du cours PHS8311

Détails

Titre :	Microsystèmes
Nombre de crédits :	3
Cycle :	Études supérieures
Triplet (h/semaine) :	3 - 1 - 5
Offert par :	Génie physique
Responsable(s) :	Peter, Yves-Alain
Préalable(s) :	PHS8310 ou équivalent
Corequis :
Site Web :	http://moodle.polymtl.ca/course/view.php?name=PHS8311
Documentation :
Note(s) :	Ce cours est admissible pour les étudiants du bacccalauréat.
Description :	Rappel des principes de microfabrication (dépôt de couches minces, photolithographie, gravure). Élaboration des principes de microsystèmes mécaniques (actionnement, senseurs, problématique de décollement des couches), électromécaniques (actionneurs, senseurs), optiques (commutateurs, détecteurs, filtres dynamiques), spatiaux (accéléromètres, senseurs infrarouges), fluidiques (valves, canaux), thermiques (actionneurs, senseurs), chimiques et biologiques. L'accent sera mis sur la conception de microsystèmes. Ceux-ci sont fabriqués par une succession d'étapes de microfabrication. La compatibilité de ces étapes pour atteindre le dispositif final est critique et sera par conséquent étudiée et illustrée par des exemples concrets.

Plan triennal

2013 - 2014			2014 - 2015			2015 - 2016
Automne	Hiver	Été	Automne	Hiver	Été	Automne	Hiver	Été
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