Polytechnique > Programmes > Cours et horaires > Détails et horaire

Répertoire des cours et horaires

Détails et horaire du cours PHS8311

Détails

Titre :Microsystèmes
Nombre de crédits :3
Cycle :Études supérieures
Triplet (h/semaine) :3 - 1 - 5
Offert par :Génie physique
Responsable(s) :Yves-Alain Peter
Préalable(s) :PHS8310 ou équivalent
Corequis :
Site Web :http://moodle.polymtl.ca/course/view.php?name=PHS8311
Documentation :
Note(s) :
Description :Rappel des principes de microfabrication (dépôt de couches minces, photolithographie, gravure). Élaboration des principes de microsystèmes mécaniques (actionnement, senseurs, problématique de décollement des couches), électromécaniques (actionneurs, senseurs), optiques (commutateurs, détecteurs, filtres dynamiques), spatiaux (accéléromètres, senseurs infrarouges), fluidiques (valves, canaux), thermiques (actionneurs, senseurs), chimiques et biologiques. L'accent sera mis sur la conception de microsystèmes. Ceux-ci sont fabriqués par une succession d'étapes de microfabrication. La compatibilité de ces étapes pour atteindre le dispositif final est critique et sera par conséquent étudiée et illustrée par des exemples concrets.

Plan triennal

2017 - 20182018 - 20192019 - 2020
AutomneHiverÉtéAutomneHiverÉtéAutomneHiverÉté
-Jour--Jour--Jour-

Données en format XML

© École Polytechnique de Montréal
Bottin | Plan du site | Recherche | Conditions