Détails et horaire du cours PHS8310

Détails

Titre :	Microfabrication
Nombre de crédits :	3
Cycle :	Études supérieures
Triplet (h/semaine) :	3 - 1.5 - 4.5
Offert par :	Génie physique
Responsable(s) :	Peter, Yves-Alain
Préalable(s) :	80 cr. pour les étudiants au baccalauréat
Corequis :
Site Web :	http://moodle.polymtl.ca/course/view.php?name=PHS8310
Documentation :
Note(s) :	Ce cours est admissible pour les étudiants du bacccalauréat.
Description :	Introduction à la microfabrication et à la nanofabrication. Photolithographie : technologie optique et photorésines. Couches minces : méthodes physiques (évaporation, pulvérisation et laser), méthodes chimiques, dépôt électrochimique, procédé d'oxydation. Gravure: sèche par plasma et en milieu liquide. Notions de nanofabrication. Procédés pour la microélectronique, pour la photonique, pour les microsystèmes microélectromécaniques et les biocapteurs. Applications de la microfabrication. Laboratoire de microfabrication.

Plan triennal

2013 - 2014			2014 - 2015			2015 - 2016
Automne	Hiver	Été	Automne	Hiver	Été	Automne	Hiver	Été
Jour	-	-	Jour	-	-	Jour	-	-