Détails et horaire du cours
Légende
Cours de jour
Cours de soir
Cours en ligne
Certificats et microprogrammes de 1er cycle
Baccalauréat (formation d'ingénieur)
Études supérieures
PHS8310
Microfabrication
Nombre de crédits :
3 (3 - 1.5 - 4.5)
Les chiffres indiqués entre parenthèses sous le sigle du cours, par exemple (3 - 2 - 4), constituent le triplet horaire.
Le premier chiffre est le nombre d'heures de cours théorique par semaine (les périodes de cours durent 50 minutes).
Le second chiffre est le nombre d'heures de travaux dirigés (exercices) ou laboratoire, par semaine.
(Note : certains cours ont un triplet (3 - 1.5 - 4.5). Dans ce cas, les 1,5 heure par semaine sont des laboratoires qui durent 3 heures mais qui ont lieu toutes les deux semaines. À Polytechnique, on parle alors de laboratoires bi-hebdomadaires).
Le troisième chiffre est un nombre d'heures estimé que l'étudiant doit investir de façon personnelle par semaine pour réussir son cours.
Département :
Génie physique
Préalable(s) :
80 crédits pour les étudiants au baccalauréat
Corequis :
Notes :
Responsable(s) :
À venir
Description
Introduction à la microfabrication et à la nanofabrication. Photolithographie : technologie optique et photorésines. Couches minces : méthodes physiques (évaporation, pulvérisation et laser), méthodes chimiques, dépôt électrochimique, procédé d'oxydation. Gravure: sèche par plasma et en milieu liquide. Notions de nanofabrication. Procédés pour la microélectronique, pour la photonique, pour les microsystèmes microélectromécaniques et les biocapteurs. Applications de la microfabrication. Laboratoire de microfabrication.
