Recherche

Intérêts de recherche

Conception, fabrication et caractérisation de micro et nano systèmes optiques. Les microsystèmes opto électro mécaniques (MOEMS) sont intrinsèquement multidisciplinaires. Leur conception optique, électrostatique et mécanique repose sur des calculs analytiques et des simulations numériques. La fabrication est basée sur le micro et nano usinage du silicium, utilisant des techniques de déposition de couches minces ainsi que des techniques de gravage  sec (plasma) et humide. La nanofabrication de cristaux photoniques, couplés à des structures mobiles MEMS, ouvre la voie à de nouvelles structures photoniques accordables. Les MEMS trouvent des applications dans des capteurs de pression, des accéléromètres, des têtes d'imprimante à jet d'encre,  des systèmes de projections optiques, des télescopes astronomiques (miroirs adaptatifs) ainsi que dans les télécommunications optiques et la biologie.

Unité(s) de recherche

• Laboratoire de Microphotonique, Responsable
• Laboratoire de microfabrication (LMF),  Co-responsable
• Groupe de recherche en physique et technologie des couches minces (GCM), membre
• Groupe PolyPhotonique, membre
• Regroupement québécois sur les matériaux de pointe (RQMP), membre
• Regroupement Stratégique en Microsystèmes du Québec (ReSMiQ), membre

Sujets CRSNG

• 2523  Fabrication et mise sous enveloppe de semi-conducteurs
• 2518 Instrumentation et mesures
• 2107  Modélisation, simulation et méthodes des éléments finis
• 2505  Dispositifs et réseaux photoniques
• 3110  Optique (voir aussi dispositifs photoniques, 2505)
• 3111 Laser
• 3112 Photonique
• 3303  Surfaces, interfaces et couches minces
• 1901  Technologie biomédicale