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Laboratoire de microfabrication (LMF)

Tél. : (514) 340-4711 poste 7459 Téléc. : (514) 340-3218
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Description des domaines de recherche

  Laboratoire de service pour le micro-usinage en salles propres. Les installations sont accessibles à la communauté universitaire et aux industries.

Personnel de recherche

Professeurs / chercheurs (5)
Nombre d'agents de recherche : 5

Équipements spécialisés

  • Faisceau d'ions focalisés (Dual Beam strata DB-235 de FEI)
    • Dépôt et gravure localisé, caractérisation
  • Gravure profonde par ions réactifs (Plasmalab 100, ICP 180 d'Oxford Instrument)
    • Procédé Bosch et Cryo
  • Aligneurs de masques (Karl Suss MA-4 et MBJ-3)
    • Alignement arrière par infrarouge
  • Évaporation par faisceau d'électrons et pulvérisation magnétron
    • Six creusets et quatre cibles
    • Co-pulvérisation
  • Système de gravure en phase vapeur (Idonus)
  • Système de séchage super critique (Tousimis 815B série C)
  • Appareil pour le dépôt de parylène (Cookson PDS 2010 II)
  • RTA avec thermocouple et pyromètre (AG associate 410)
    • N2, N2H2, Ar et O2
    • Contrôle de température par thermocouple et par pyromètre
  • Nettoyeur à l'ozone (UVOCS)
  • Gravure par ions réactifs (Technics)
  • Microscope Nikon avec prisme Normasky
  • Dektak (Veeco dektak 3030st)
  • Mesure de contrainte (Flexus 2900 de Tencor)
  • Fournaise pour l'oxydation thermique (Thermco)
  • Microscope à balayage électronique (Philips XL-20)

Sources de financement externes

CRSNG; FQRNT et frais d'utilisation.