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Certificats et microprogrammes de 1er cycle
Baccalauréat (formation d'ingénieur)
Études supérieures

PHS8311

Microsystèmes

Nombre de crédits : 3 (3 - 1 - 5) Les chiffres indiqués entre parenthèses sous le sigle du cours, par exemple (3 - 2 - 4), constituent le triplet horaire.

Le premier chiffre est le nombre d'heures de cours théorique par semaine (les périodes de cours durent 50 minutes).
Le second chiffre est le nombre d'heures de travaux dirigés (exercices) ou laboratoire, par semaine.
(Note : certains cours ont un triplet (3 - 1.5 - 4.5). Dans ce cas, les 1,5 heure par semaine sont des laboratoires qui durent 3 heures mais qui ont lieu toutes les deux semaines. À Polytechnique, on parle alors de laboratoires bi-hebdomadaires).
Le troisième chiffre est un nombre d'heures estimé que l'étudiant doit investir de façon personnelle par semaine pour réussir son cours.
Département : Génie physique
Préalable(s) : PHS8310 ou équivalent
Corequis :
Notes :
Responsable(s) : Yves-Alain Peter
Description
Rappel des principes de microfabrication (dépôt de couches minces, photolithographie, gravure). Élaboration des principes de microsystèmes mécaniques (actionnement, senseurs, problématique de décollement des couches), électromécaniques (actionneurs, senseurs), optiques (commutateurs, détecteurs, filtres dynamiques), spatiaux (accéléromètres, senseurs infrarouges), fluidiques (valves, canaux), thermiques (actionneurs, senseurs), chimiques et biologiques. L'accent sera mis sur la conception de microsystèmes. Ceux-ci sont fabriqués par une succession d'étapes de microfabrication. La compatibilité de ces étapes pour atteindre le dispositif final est critique et sera par conséquent étudiée et illustrée par des exemples concrets.

Plan triennal

2018-2019 2019-2020 2020-2021
Automne Hiver Été Automne Hiver Été Automne Hiver Été
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