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Certificats et microprogrammes de 1er cycle
Baccalauréat (formation d'ingénieur)
Études supérieures

PHS8310

Microfabrication

Nombre de crédits : 3 (3 - 1.5 - 4.5) Les chiffres indiqués entre parenthèses sous le sigle du cours, par exemple (3 - 2 - 4), constituent le triplet horaire.

Le premier chiffre est le nombre d'heures de cours théorique par semaine (les périodes de cours durent 50 minutes).
Le second chiffre est le nombre d'heures de travaux dirigés (exercices) ou laboratoire, par semaine.
(Note : certains cours ont un triplet (3 - 1.5 - 4.5). Dans ce cas, les 1,5 heure par semaine sont des laboratoires qui durent 3 heures mais qui ont lieu toutes les deux semaines. À Polytechnique, on parle alors de laboratoires bi-hebdomadaires).
Le troisième chiffre est un nombre d'heures estimé que l'étudiant doit investir de façon personnelle par semaine pour réussir son cours.
Département : Génie physique
Préalable(s) : 80 crédits pour les étudiants au baccalauréat
Corequis :
Notes : Ce cours sera offert en anglais à l'automne 2018.
Responsable(s) : Yves-Alain Peter
Description
Introduction à la microfabrication et à la nanofabrication. Photolithographie : technologie optique et photorésines. Couches minces : méthodes physiques (évaporation, pulvérisation et laser), méthodes chimiques, dépôt électrochimique, procédé d'oxydation. Gravure: sèche par plasma et en milieu liquide. Notions de nanofabrication. Procédés pour la microélectronique, pour la photonique, pour les microsystèmes microélectromécaniques et les biocapteurs. Applications de la microfabrication. Laboratoire de microfabrication.

Horaire

Cours
Groupe Jour Heure Local Enseignant(e)(s)
01 Vendredi 12h45, 13h45, 14h45 A-526 Peter, Yves-Alain
Travaux pratiques
Groupe Jour Heure Local Enseignant(e)(s)
01 Jeudi 8h30, 9h30, 10h30, 11h30 (B1) J-4110 Peter, Yves-Alain
02 Jeudi 8h30, 9h30, 10h30, 11h30 (B2) J-4110 Peter, Yves-Alain
03 Jeudi 13h45, 14h45, 15h45, 16h45 (B1) J-4110 Peter, Yves-Alain
04 Jeudi 13h45, 14h45, 15h45, 16h45 (B2) J-4110 Peter, Yves-Alain

Plan triennal

2018-2019 2019-2020 2020-2021
Automne Hiver Été Automne Hiver Été Automne Hiver Été
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